Hazırlanma texnologiyasına görə inteqral mikrosxemlər 3 yerə — уarım keçirici, təbəqəli inteqral mikrosxemlərə və mikroyığımlara bölünür. Təbəqəli inteqral mikrosxemlər nazik təbəqəli (1-2 mkm) və qalın təbəqəli (10-20 mkm) olurlar və bunların tərkibində həm elementlər, həm də komponentlər olduğundan onlara hibrid inteqral mikrosxemlər deyilir.
Yarımkeçirici inteqral mikrosxemlərdə bütün aktiv (tranzistor, diod və s.) və passiv (rezistor, kondensator) elementlər və onların birləşmələri vahid ilkin yarımkeçirici kristalda biri-birindən ayrılması mümkün olmadan əlaqələndirilmiş p-ıı keçidlərin birliyi kimi hazırlanır. Burada həcmində və səthində planar texnologiya ilə mikrosxemlərin elementləri və təmas sahələri yerləşdirilmiş yarımkeçirici kristal aktiv rol oynayır (şəkil 10.3).
Hibrid mikrosxemlərdə bütün passiv elementlər dielektrik əsasın (altlığın) səthində birqatlı və ya çoxqatlı strukturlar şəklində hazırlanır və bir- birilə nazik təbəqə şəkilli məftillərlə biriəşdirilir (şəkil 10.4), yarımkeçirici cihazlar və başqa komponentlər (miniatür çini konsdensatorlar, induktivliklər) isə altlığın üzərində diskret detallar kimi yerləşdirilir (şəkil 10.5). Kristalın səthinə toz halında səpələnən təbəqələr heç cür tranzistor tipli aktiv element yaratmağa imkan vermədiyindən belə inteqral mik- rosxemlərdə inteqral texnologiya ilə yalnız passiv elementlər almır. Bu texnologiya həm də təbəqəli texnologiya adlanır. Sırf təbəqəli inteqral sxemlərin yerinə yetirdiyi funksiyalar məhdud olduğundan onların imkanları diskret kom ponentlərin əlavə altlıq üzərində yerləşdirilməsi ilə artırılır. Diskret komponentlərin təbəqələri elementlərlə birləşmə sindən qarışıq təbəqəli diskret (hibrid) inteqral mikrosxem əmələ gəlir.
Praktikada həm yarım keçirici, həm də hibrid inteqral mikrosxemlər geniş istifadə edilir. Hər iki texnologiya özünə məxsus üstün cəhətlərə malik olduğundan onlar bir-birini tamamlayır: mikrosxemlər hibrid inteqral mikrosxemlərdə komponent kimi istifadə olunur (mikroyığımlar üçün xarakterikdir). Qarışıq inteqral mikrosxemin bir növü də uyğunlaşdırılmış inteqral mikrosxemlərdir. Bunlarda aktiv elementlər yarımkeçirici irıteqral mikrosxemlərdə olduğu kimi yarımkeçirici kristalın səth qatında, passiv elementlər isə təbəqəli inteqral sxemlərdəki kimi həmin kristalın əvvəlcədən izolə olunmuş səthində plyonka halında hazırlanır. Uyğunlaşdırılmış mikrosxemlərin istifadəsində müqavimətlərin və
tutumların yüksək nominalları və stabilliyi tələb olunur, bunu isə yarımkeçiricilərə nisbətən təbəqəli elementlərin vasitəsilə asan həyata keçirmək olar. inteqral mikrosxemlərin hamısında elementlərarası
birləşmələr altlığın səthinə çəkilən (və ya toz halında səpələnən) və lazımi yerlərdə elementlərlə təmasda olan nazik metal zolaqların köməyi ilə əldə edilir. Bu birinci zolaqların çəkilməsinə (səpələnməsinə) metallaşdırma, ara birləşmələrinin rəsminə isə metallaşdırılmış ayrılma deyilir. Yarımkeçirici və hibrid mikrosxemlərdən fərqli olaraq mikroyığımlar daha mürəkkəb funksiyaları yerinə yetirirlər və bunun üçün tələb olunan elementlər, komponentlər və inteqral mikrosxemlər birliyindən təşkil olunur. Yerinə yetirdiyi funksiyaların xarakterinə görə inteqral mikrosxemlər analoq və rəqəmli inteqral mikrosxemlərə bölünür. Analoq inteqral mikrosxemlər aramsız funksiya qanunu ilə dəyişən elektrik siqnallarının çevrilməsi və emalı funksiyalarını yerinə yetirir. Belə inteqral mikrosxemlər gücləndirici, harmonik siqnal generatoru, süzgəc, detektör kimi istifadə olunur. Analoq inteqral sxeminin fərdi halı kimi xətti xarakteristikaya malik olan xətti mikrosxemi göstərmək olar.
Rəqəmli inteqral mikrosxemlər diskret funksiya qanunu ilə dəyişən (məsələn, ikilik kod) elektrik siqnallarını çevirir və emal edirlər. Bunlara həm də məntiq inteqral mik- rosxemləri deyilir.
Ramiz Hümbətov - Elektronika
